CloseIn-line膜厚測定
CVD法、PVD法など各種製膜手法で成膜されたゲート電極層（多結晶Si膜など）、ゲート絶縁膜（酸化膜、窒化膜など）、層間絶縁膜（酸化膜）、レジスト膜などの膜厚管理が必要になります。ナノレベルからの高精度な膜厚測定や膜質測定（光学定数）を提供します。
-
ウェーハ表面酸化
-
配線パターニング -
ウェーハテスト
関連製品
|
|
ロードポート対応膜厚測定システム GS-300 |
ホーム
