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In-line膜厚測定

In-line膜厚測定

CVD法、PVD法など各種製膜手法で成膜されたゲート電極層(多結晶Si膜など)、ゲート絶縁膜(酸化膜、窒化膜など)、層間絶縁膜(酸化膜)、レジスト膜などの膜厚管理が必要になります。ナノレベルからの高精度な膜厚測定や膜質測定(光学定数)を提供します。
 

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