Close成膜後のウェーハ面内膜厚管理
酸化膜の膜厚が目的の厚みに成膜されているかを評価します。厚みが適切でないと絶縁膜としての機能が不十分となり、不良や性能低下を招きます。OPTMでは非接触、非破壊、高精度での測定が可能なため成膜された厚みを評価するのに適しています。
また、GS-300を使用すれば、インラインでウェーハ面内の 膜厚分布を測定することができます。
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洗浄
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ウェーハ表面酸化 -
配線パターニング
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