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ウェーハ表面の電位(ELSZ-2000ZS)

ウェーハ表面の電位(ELSZ-2000ZS)

ウェーハ洗浄しても表面状態によっては異物が除去できない場合があります。これは異物がプラス、ウェーハ表面がマイナスに帯電し電気的に結びつき、除去できないためです。こういったケースでは、ウェーハ表面と異物(例えば研磨粒子)の両方のゼータ電位を測る等で原因特定ができます。
 

  • ウェーハ作製
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  • 洗浄
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  • ウェーハ表面酸化
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