Closeウェーハ平坦度測定
「ウェーハ反り 」と「厚み」の同時測定（Dyvoceシリーズ）
コラボレーションの事例となります。
当社SF-3を組込んだ神津精機株式会社様製「Dyvoceシリーズ：高精度ウェーハ形状測定装（ウェーハ平坦度検査）」を提供します。 Dyvoceの高精度反り測定技術と当社SF-3の高精度ウェーハ厚み測定技術が融合した検査装置です。自動機から枚葉装置まで幅広いラインナップをご提案します。
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