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ウェーハ平坦度測定

「ウェーハ反り 」と「厚み」の同時測定(Dyvoceシリーズ)

ウェーハ形状+厚み分布

コラボレーションの事例となります。
当社SF-3を組込んだ神津精機株式会社様製「Dyvoceシリーズ:高精度ウェーハ形状測定装(ウェーハ平坦度検査)」を提供します。 Dyvoceの高精度反り測定技術と当社SF-3の高精度ウェーハ厚み測定技術が融合した検査装置です。自動機から枚葉装置まで幅広いラインナップをご提案します。

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