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研磨パッドの表面ゼータ電位 
静電相互作用を評価できます
今回、発泡ポリウレタンの研磨パッドを測定サンプルとし、各pHにおける表面ゼータ電位を行いました。パッドは吸水性を有するため平板セルスペーサーを用いてサンプルをセットし(図1)、pHの自動滴定のためにpHタイトレータ(ELSZ-PT)を用いて表面ゼータ電位測定を行いました。
図2に各pHにおける研磨パッドの表面ゼータ電位測定結果を示します。等電点は、pH3.2と求まり、pH4よりアルカリ側では負電荷の表面ゼータ電位でした。このように研磨パッドの表面ゼータ電位測定を測定することで表面における静電相互作用について評価検討ができます。
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