膜厚計・厚み計

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現！

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差版の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定します。

サンプルをセットするだけで即結果がわかる“1ステップオペレーション”は難しい作業一切なしのユーザーフレンドリーを追求した装置です。
検査工程の短縮を目指した装置になっており、検量線なし、高精度・高分解能で絶対厚みが手軽にわかります。
大塚電子独自の光学方式を用いているため、コンパクトに省スペースを実現しつつ、不透明・粗面・変形しやすいサンプルでも非接触に高精度に測定可能です。

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インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。
独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.01秒毎の測定間隔で500mm幅（1台使用時）のフィルムの膜厚測定が可能です。

フィルムなどの研究開発や抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。
全面を高速かつ高精度に測定可能です。

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度２um以下のシステムです。
 

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パターンマッチ機能搭載でX-Y位置決め精度２um以下のシステムです。

最大12inchウェーハを高速にマッピング可能です。