膜厚計・厚み計

 

　

反射分光膜厚計

顕微分光膜厚計　OPTM series
	OPTM(オプティム)は、顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。 各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

膜厚モニター　FE-300
	高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。 必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。 低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

組込み型膜厚モニター
	波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現！

膜厚測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series
	紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

分光エリプソメータ

分光エリプソメータ　FE-5000/5000S
	高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

厚み計

超高速分光干渉式厚み計
	ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定します。

ラインスキャン膜厚計【インラインタイプ】
	インラインでのフィルム生産現場においてフィルムの膜厚を全幅・全長測定できる装置です。 独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.01秒毎の測定間隔で500mm幅（1台使用時）のフィルムの膜厚測定が可能です。

ラインスキャン膜厚計【オフラインタイプ】
	フィルムなどの研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。 全面を高速かつ高精度に測定可能です。

ウェーハ厚みセンサー

分光干渉式ウェーハ厚み計　SF-3
	ウェーハ等の研削研磨プロセスにおいて、非接触でウェーハや樹脂の厚みを超高速・高精度に測定を行います。

ウェーハオートマッピング

ロードポート対応膜厚測定システム　GS-300
	パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度２um以下のシステムです。   【 この装置の動画はこちら 】