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顕微分光膜厚計 OPTM series

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

製品情報

特 長
  • 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約!
  • 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外~近赤外)
  • エリアセンサーによる安全機構
  • 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
  • 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
  • 各種カスタマイズに対応

試料の形状・部位に応じて容易に測定シーケンスをカスタマイズ可能
    試料の形状・部位に応じて容易に測定シーケンスをカスタマイズ可能

仕様

仕様

OPTMの仕様

 

構成図

OPTMの構成図(自動XYステージタイプ)
自動XYステージタイプ

測定項目

測定項目
  • 絶対反射率測定
  • 膜厚解析
  • 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)

反射率

 

 

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