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卓上型ラインスキャン膜厚計 NEW

フィルムなどの研究開発や抜き取り検査に、卓上で簡単に面内膜厚ムラ検査が可能な装置です。
全面を高速かつ高精度に測定可能です。

製品情報

特 長
  • フィルムなどの面内膜厚ムラ検査、全面を高速・高精度に測定
  • ハード・ソフト共にオリジナル設計
  • 膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
  • 分光測定による高精度な膜厚測定(特許取得)
  • 高速に測定が可能(500万ポイント以上/分)

 

ラインスキャンのイメージ
300mm角の分光データを瞬時に解析し全面ムラ検査・膜厚測定を可能に

 

仕様

測定項目 膜厚(FFT)
位置分解能 1mm 以下
測定サイズ 最大250mm幅 × 長さ制限なし
波長範囲 400 ~ 920nm
1素子当たりの波長幅 約 0.6nm
膜厚測定範囲 2 ~ 250μm
測定間隔 10msec ~
装置サイズ W600 × D680 × H1250mm

 

測定例

250mm幅のフィルムの場合

300mm幅のフィルムの場合

 

解析結果例:ソフト画面
 

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