マイページ
言語切替

ホーム > 製品情報:分光計測機器 > 膜厚計・厚み計 > 反射分光膜厚計 > 膜厚測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series

膜厚測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

 


※資料やカタログダウンロードには会員登録が必要です
 【 関連技術資料ダウンロード
 

製品情報

特 長
用途に応じた多彩な検出器をラインアップ

最上位機種MCPD-9800をはじめ3種類12波長域の検出器をラインアップして、お客さまのニーズや測定用途に合わせた最適な検出器をご提案いたします。

評価方法と対応する検出器

 

通信インターフェースはUSBとLANに対応可能

汎用的なUSBポートと、遠隔地からのリモート測定に対応可能なLAN通信を搭載しており、利便性と測定用途の幅が広がります。

 

高速・高感度に光スペクトルを測定

刻々と変化する紫外・可視・近赤外領域の発光・透過・吸収スペクトルを、512chまたは1024chの検出素子と検出器本体の内部メモリを用いて、最速5ミリ秒(MCPD-9800の場合)ごとに高感度・高精度に測定が可能です。

 

オプティカルファイバーによる自由な光学系

標準装備のオプティカルファイバーにより、サンプルの形状や大きさの制約を受けずに、自由な光学系を組み上げることができます。また、顕微鏡や大型ステージなど他の装置との組み合わせも容易なため、あらゆる分野で優れた性能を発揮します。

 

信頼性
日本工業規格(JIS)に対応! 高性能な分光測光器として提供可能

MCPDは、日本工業規格JIS Z 8724(色の測定方法-光源色)における分光測光器の要求精度のすべてを満たしており、安心してご利用いただけます。

 

国家基準にトレーサブル! 確実なサービスを提供します。

大塚電子の光計測評価センターは、計量法に基づく校正事業者登録制度(JCSS*1 登録制度)のもと、登録区分「光」における国際MRA*2対応JCSS校正事業者に認定されています。照明器具や光源の性能を公正に評価するために、光特性の測定方法の規格化など、さまざまな標準化を国の内外を問わず進められており、それらが要求する測光は、「光」のトレーサビリティーを基本にしています。大塚電子は、「光」校正事業により、測光のトレーサビリティーを提供することで、省エネで環境にもやさしい照明の普及と発展に貢献できるよう努めています。
*1 JCSS(Japan Calibration Service System):計量法校正事業者登録制度
*2 国際MRA(Mutual Recognition Agreement):国際相互承認

 

特注対応
多様化するニーズに特注生産で応えます!

豊富な付属品・オプションユニット、解析ソフトウェアを取り揃えています。お客さまのニーズに最先端で価値ある提案をすべく、蓄積した技術とノウハウで、”最適システム”をご提供します

システム構成

膜厚測定システム
膜厚測定システム 応用
◎フィルム、塗布膜、保護膜の膜厚
◎ウエハ上、ガラス基板上、アルミ基板上
 の膜厚

 

顕微分光測定システム
顕微分光測定システム 応用
◎顕微鏡下での微小スポット測定
  (反射・透過・吸収)
◎膜厚測定
  (フィルム、各種基板上の膜、保護膜)

 

多点測定システム
多点測定システム 応用
◎反射防止膜の反射率測定
◎コーティングフィルムの膜厚測定
◎各種基板上の膜厚測定

 

トラバース機対応システム
トラバース機対応システム 応用
◎反射防止膜の膜厚および反射率測定
◎機能性フィルムの品質管理

 

関連情報

関連製品

マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800

反射分光膜厚計 FE-3000

膜厚モニター FE-300

組込み型膜厚モニター

分光エリプソメータ FE-5000/5000S

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

450mmウェーハ厚検査装置 SF-450M

顕微ウェーハ厚検査装置 SF-3000M