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光波動場三次元顕微鏡 MINUK           NEW

MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。
さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。

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製品情報

特 長
  • nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
  • 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
  • フォーカス不要で高速測定が可能
  • 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
  • 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易
     

動 画
 

 

 

仕様

仕 様         

分解能 x,y 691nm(ワンショット)、488nm(合成)
視野 x,y 700×700μm
分解能 z 10nm(位相差)
視野 z ±700μm
サンプルサイズ 100×80×t20mm(汎用サンプルホルダ取付時)
サンプルステージ 微動XYステージ(自動)
X:±10mm Y:±10mm
粗動ステージ
X:129mm Y:85mm
レーザー
波長 638nm
出力 0.39mW 以下 Class1 (測定試料への照射強度)
サイズ
(幅×奥行き×高さ)mm
本体:505(W)×630(D)×439(H) ±20mm
※PC、付属品は含まず
質量 41kg
消費電力 本体:290VA 
※PC、付属品は含まず

 

測定例

目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化

nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得できます。ワンショットで深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム表面の傷や欠陥の断面形状を可視化し数値化することが可能です。


 

透明フィルムの内部にあるフィラーを観察

目視では見えない透明フィルム内部にあるフィラーをワンショットで観察することができます。また、測定後に深さ方向へピントを変えていくことにより、各深さでのフィラーを識別することが可能です。


 

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