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機能材料評価機器

機能性フィルム評価機器

顕微分光膜厚計 OPTM series New

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
各種フィルムやウェーハ、光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/pointの高速測定が可能で初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

膜厚モニター FE-300

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

分光エリプソメータ FE-5000/5000S

高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差版の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

高速リタデーション測定装置 RE-200

光軸の高精度管理! 3σ≦0.02°
低リタデーション測定に

位相差フィルム・光学材料検査装置 RETS-100

リタデーション(複屈折位相差)の波長分散評価、配向角(光学軸)や貼り合わせ角度の自動検出など光学フィルムの偏光特性評価に最適

反射分光膜厚計 FE-3000

顕微を用いた微小領域での絶対反射率の取得により、高精度な光干渉法による膜厚解析が可能な装置です。
半導体分野でのパターンサンプルや、レンズやドリルのような形状サンプルの他、表面粗さや膜厚ムラのあるサンプルなど、多種多様なサンプルの膜厚・光学定数解析が可能です。

透過率・反射率測定装置

透過率・吸光度測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

反射率測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

蛍光評価装置

量子効率測定システム QE-2000/2100

瞬時に絶対量子効率(絶対量子収率)の測定ができます。粉体、溶液、固体(フィルム)、薄膜試料に対応しています。低迷光マルチチャンネル分光検出器により、紫外域での迷光を大きく低減しました。また積分半球ユニットの採用により、明るい光学系を実現すると共に、その利点を生かした再励起蛍光補正により、精度の高い測定を行うことができます。また、QE-2100は量子効率の温度依存性測定や紫外~近赤外の広い波長範囲にも対応が可能です。

インライン蛍光体フィルム検査システム DF-1000

透過蛍光の面内色度分布を高速測定

高感度NIR量子効率測定システム QE-5000 New

一重項酸素(活性酸素)を検出可能

単粒子蛍光診断システム New

NIMSと共同開発した単粒子診断法*に基づいた測定が可能です。

 

* 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
 広崎尚登フェロー、武田隆史研究員との共同研究

 

量子ドット評価システム New

量子ドット材料は粒子径により発光波長が変わるという特性があるといわれています。
本システムでは粒子径および分散安定性の評価とともに蛍光特性の評価が可能です。