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スマート膜厚計 SM-100 series      

高精度で持ち運び可能な膜厚計

「測りたい“その場”ですぐに測れない」
「人によってバラつく測定結果」
「測定精度が悪い」
膜厚を測定するときに、このような経験はありませんか?スマート膜厚計は下記のような特徴があり、皆様のお困りごとを解決します。
 

  • ・ 現場に持っていけるハンディタイプ
  • ・ 簡単だから誰でも使える
  • ・ ハンディタイプでも高精度な測定ができる
  • ・ 形状のあるサンプルも非破壊で測れる
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製品情報

特 長
  • 「持ち運び可能なハンディタイプ」1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単
  • 「高精度測定&簡単測定」最薄0.1 μmまで検量線不要で測定可能
  • 「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定可能
  • 「非破壊・非接触測定」サンプルを傷つけることもなく測定可能
  • 「様々なサンプルを測定」基材(ガラス・プラスチック)を選ばず測定可能






仕様

仕 様
 項目 Pro Standard
 型式 SM-100P SM-100S
 測定方式 反射分光法(光干渉法)
 測定膜厚範囲*1 0.1~100μm(単層)
 1~100μm(多層)
1~50μm(単層)
 
 多層対応 最大3層 1層
 測定繰り返し性 2.1σ 0.01μm(シリコン酸化膜1μm)
 測定スポット径 Φ1mm以下
 測定時間 1秒以下
 データ出力形式 USBメモリにテキスト形式でエクスポート
 本体サイズ 約138(W)×198(D)×61(H)mm
※突起部を含む
 重量 約1.1kg
 駆動時間 4時間 以上(測定中)
 電源電圧/電力 AC100-240V/35VA(ACアダプタ入力)
 保護等級 IP30/IK06

*1 サンプル屈折率が1.6の場合

測定対象

測定対象
  • ハードコート(自動車)
  • 防曇コート(自動車)
  • ハードコート(光学用)
  • 防水防湿コート(半導体)
  • 反射防止膜(光学用)
  • 離型剤コート(半導体)
  • 接着層(光学用)
  • 光学用フィルム
  • 酸化膜(半導体)
  • 産業資材用フィルム

反射率

 

 

オプション

ペン型プローブ

狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能

非接触ステージ

ウェットな膜や半導体ウェーハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して非接触で測定が可能

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