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MCPD series インラインフィルム評価システム

当社のMCPD seriesインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。
測定可能膜厚範囲は 65nm~92μmと薄膜から厚膜まで対応しております。(屈折率1.5の場合)
測定原理は分光干渉方式のため、高い測定再現性を実現しつつ多層厚み測定にも対応しております。独自アルゴリズムの採用により高速でリアルタイムにモニタリングが可能なため、インラインフィルムモニターとして最適なシステムをご提案いたします。

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製品情報

特 長
  • プロセス中の薄膜高速測定に最適
  • 最短露光時間1ms~ ※仕様による
  • リモート測定に対応
  • 膜厚測定範囲65nm~92μm(SiO2換算)
基本構成

MCPD組込み基本構成

多点測定ポイント切替対応システム

多点測定ポイント切替対応システムでは、TD方向に予め多分岐ファイバーを任意幅に設置することにより、TD方向の膜厚分布をファイバー駆動させることなく測定することができます。コーティングの条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

検出器やデータ処理システムは1式で、光ファイバーの光路切替により多点測定が可能です。

多点測定システム

トラバースユニット対応システム

トラバースユニット対応システムでは、TD方向にトラバースユニットを駆動することにより、TD方向の膜厚分布を任意幅と任意ピッチで測定することができます。コーティング条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

トラバースユニットの駆動により多点測定を行うため、検出器やデータ処理を複数台用意する必要はありません。

トラバース測定システム

真空環境下でも多点で反射・透過スペクトル測定が可能

各種フランジに対応した耐真空ファイバーを用いることにより、高真空下で反射・透過スペクトルを測定できます。また、膜厚演算にはベースフィルムの上下動の影響を受けにくく、かつ精度よく薄膜が測定できる大塚電子独自のアルゴリズムを採用することにより、リアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

真空

仕様

MCPD-9800仕様
型式 MCPD-9800
2285C 3095C 3683C 311C 916C
測定波長範囲(nm) 220~850 300~950 360~830 360~1100 900~1600
膜厚範囲※ 65nm~35μm 65nm~50μm 65nm~45μm 65nm~49μm 180nm~92μm
膜厚/反射/透過/リタデーション
色測定 ×
スキャン時間 5ms~20s 1ms~10s
スポット径 φ1.2mm
ファイバー長 1m~ 長さは要相談

※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります

 

MCPD-6800仕様
型式 MCPD-6800
2285C 3095C 3683C 3610C
測定波長範囲(nm) 220~850 300~950 360~830 360~1000
膜厚範囲※ 65nm~35μm 65nm~50μm 65nm~45μm 65nm~49μm
膜厚/反射/透過/リタデーション/色測定
スキャン時間 16ms~65s
スポット径 φ1.2mm
ファイバー長 1m~ 長さは要相談

※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります

 

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