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カラーフィルタ分光特性測定装置 LCF series

カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。

製品情報

特 長
  • 透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置
  • カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能
  • オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能

 

測定項目
カラーフィルタ評価 色測定(透過スペクトル測定)
色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*)
色差,ホワイトバランス
反射率測定 *
濃度(OD)測定 *
画素幅測定 *
AF(オートフォーカス),自動絵素合わせ *
膜厚評価 膜厚測定
膜物性解析(n:屈折率,k:消衰係数)

* オプション

 

測定対象
  • R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM

 

仕様

仕 様
型式 LCF series
サンプルサイズ 50mm×50mm ~ *
検出器

分光光度計 ( MCPD検出器 ),PMT (オプション)

画像処理 CCDカメラおよびモニター
オートフォーカス・自動絵素合わせ機構
ステージおよび測定部架台 X-Y-Zステージ 自動および手動(電動方式)

* 大型ガラス基板にも対応可能(3000mm×3000mm以上)

 

測定例

カラーフィルタのR、G、B測定

 

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