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インプロセス用評価機器

フィルム成膜プロセス

マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

組込み型膜厚モニター

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

高速リタデーション測定装置 RE-200

光軸の高精度管理! 3σ≦0.02°
低リタデーション測定に

リタデーション測定装置 RETS-100NX New

OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差フィルム付偏光板など、あらゆるフィルムに対応したリタデーション測定装置です。
超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現。
フィルムの積層状態を“剥がさず、非破壊”で測定可能です。
さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによるズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定

位相差フィルム・光学材料検査装置 RETS-100

リタデーション(複屈折位相差)の波長分散評価、配向角(光学軸)や貼り合わせ角度の自動検出など光学フィルムの偏光特性評価に最適

半導体プロセス

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

ウェーハ等の研削研磨プロセスを非接触でウェーハや樹脂の超高速リアルタイム・高精度 に測定

組込み型膜厚モニター

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800

紫外から近赤外領域対応の多機能マルチチャンネル分光検出器です。最短5msで分光スペクトル測定ができます。標準装置のオプティカルファイバーにより、サンプル種を特定することなく、さまざまな測定系に対応可能です。顕微分光、光源発光、透過・反射測定をはじめ、ソフトウェアとの組み合わせにより、物体色評価、膜厚測定などにも対応可能です。

インテグレーション対応ウェーハマッピングシステム

パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度2um以下のシステムです。

LED検査プロセス

高速LED光学特性モニター LE series

LEDの光学特性評価を、生産ラインの制御信号と同期させインラインで高速におこなうことができる装置です。
LE-5400は、NG判定や級別分類など品質管理に必要な光学特性情報を提供します。

FPD自動検査ライン

リタデーション測定装置 RETS-100NX New

OLED用偏光板、積層位相差フィルム、IPS液晶位相差フィルム付偏光板など、あらゆるフィルムに対応したリタデーション測定装置です。
超高Re.60000nmに対応の高速・高精度測定を実現。
フィルムの積層状態を“剥がさず、非破壊”で測定可能です。
さらに、操作面でもかんたんソフトウェアや、サンプルの置き直しによるズレに対応した補正機能を搭載し、手軽に高精度な測定ができます。

カラーフィルタ分光特性測定装置 LCF series

カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。

組込み型膜厚モニター

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

セルギャップ検査装置 RETS series

反射型・透過型タイプの液晶封入済みセルからカラーフィルタ付空セルまで幅広く対応