研磨後ウェーハ厚み測定

インゴット製造

ウェーハ作製

• ウェーハ平坦度測定
• ウェーハエッジの厚み測定
• In-situ膜厚測定１
• 研磨後ウェーハ厚み測定

洗浄

• ウェーハ表面の電位
• 洗浄液のイオン分析（Agilent 7100）

ウェーハ表面酸化

• 成膜後のウェーハ面内膜厚管理

配線パターニング

• In-line膜厚測定
• In-situ膜厚測定２

ウェーハテスト

ウェーハボンディング

• 貼り合わせウェーハ厚み測定

バックグラインド

• In-situ膜厚測定３
• 研磨後の貼り合わせウェーハ厚み測定

ダイシング

パッケージ

アッセンブリー