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ホーム > 製品情報:分光計測機器 > インプロセス用評価機器 > フィルム成膜プロセス > 高速リタデーション測定装置 RE-200

高速リタデーション測定装置 RE-200

光軸の高精度管理! 3σ≦0.02°
低リタデーション測定に

特 長

特 長
  • 0nmからの低(残留)リタデーション測定が可能
  • 光軸検出と同時にリタデーション(Re.)の高速測定が可能
    (世界最速相当0.1秒以下での処理が可能)
  • 駆動部がないため、高い繰り返し再現性を実現
  • 設定する測定項目が少なく、測定が簡単
  • 測定波長は550nmのほか、さまざまな波長をラインアップ
  • Rth測定、全方位角測定が可能
    (オプションの自動回転傾斜治具が必要です
  • 引張試験機と組み合わせることにより、フィルムの偏光特性と同時に光弾性評価が可能
    (このシステムは特注対応となります。)

 

特 長
  • リタデーション(ρ[deg.], Re[nm])
  • 主軸方位角(θ[deg.])
  • 楕円率(ε)・方位角(γ)
  • 三次元屈折率(NxNyNz)

 

特 長
  • 位相差フィルム、偏光フィルム、楕円フィルム、視野角改善フィルム、各種機能性フィルム
  • 樹脂、ガラスなど透明で異方性のあるもの(ガラスにひずみ、歪みなど)

 

原 理

RE-200とは

RE-200は、フォトニック結晶素子(偏光素子)とCCDカメラとで構成された偏光計測モジュールと、透過の偏光光学系を組み合せて、高速かつ高精度な位相差(リタデーション)、および主軸方位角の測定をおこなうことができます。 偏光強度パターンをCCDカメラの1ショットで取得するため偏光子回転のための機構もなく、システム全体としてコンパクトな構成になっており、長時間の使用に対しても安定した性能を維持できます。


フィッティング・フーリエ円環をして楕円率ε、方位角γを算出します。

 

仕 様

仕 様
型式 RE series
サンプルサイズ

最小10×10mm ~ 最大100×100mm

測定波長 550nm (標準仕様)※1
リタデーション測定範囲 約0nm ~ 約1μm
軸検出繰り返し精度 0.05°(at 3σ) ※2
検出器 偏光計測モジュール
測定スポット径 2.2mm×2.2mm
光源 100W ハロゲンランプ または LED光源
本体・重量 300(W) × 560(H) ×430(D) mm 、約20kg

 

オプション

 

Rth測定、全方位角測定が可能です ※治具本体(回転:180°, 傾斜:±50°)

自動回転傾斜治具

測定例

視野角改善フィルムA

視野角改善フィルムB

関連情報

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