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ホーム > 製品情報:分光計測機器 > インプロセス用評価機器 > FPD自動検査ライン > セルギャップ検査装置 RETS series

セルギャップ検査装置 RETS series

反射型・透過型タイプの液晶封入済みセルからカラーフィルタ付空セルまで幅広く対応

製品情報

特 長
  • 偏光光学系とマルチチャンネル分光検出器を採用
  • 1mmサイズの光学素子から第10世代の大型基板まで、種々のサイズに
    対応した装置をラインアップ
  • 安全対策とパーティクル対策により、液晶ライン内での検査設備に対応

 

測定項目
  • 封入セルギャップ
  • ツイスト角 *
  • ラビング角 *
  • プレチルト角[TN,IPS,FFS,MVA] *
  • 空セルギャップ *
  • リタデーション(複屈折位相差)の波長分散 *
  • 光学軸 *
  • 楕円率/方位角 *
  • 三次元屈折率/Rth/β *
  • 分光スペクトル/色度 *

* オプション

 

測定対象
  •  液晶セル
     - 透過、半透過型液晶セル(TFT、TN、STN、IPS、VA、OCB、強誘電)
     - 反射型液晶セル(TFT、TN、IPS、VA)
  • 光学材料
     - その他(位相差・楕円・偏光フィルム、液晶材料)

 

仕様

仕 様
型式 RETS series
サンプルサイズ 20mm×20mm ~ * 
セルギャップ測定範囲 0.1μm ~ 数10μm
セルギャップ繰り返し性 ±0.005μm
検出器 マルチチャンネル分光光度計
測定波長範囲 400nm ~ 800nm
光学系
  透過用偏光子ユニット
偏光光学系
消光比 10-5グラントムソンプリズム内蔵
自動回転(角度精度0.1°)、自動脱着機構
測定スポット径 φ2, φ5, φ10 (mm)
光軸傾斜機構 -20 ~ 45°、-45 ~ 45°等

* 大型ガラス基板にも対応可能(2000mm×2000mm以上)

 

測定例

リタデーション(複屈折位相差)の波長分散とセルギャップ値

 

ギャップ面内分布データ

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