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組込み型膜厚モニター
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波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現！
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- 製品情報
- 装置構成
- 測定例
製品情報
特 長
- 分光干渉法を用いた膜厚計
- 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載（特許 第4834847号）
- オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能
- 各種製造装置への組み込みが可能
- リアルタイムでの膜厚測定が可能
- 遠隔操作、多点測定に対応
- 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用
測定項目
- 膜厚
用 途
- 光学フィルム（ハードコート、ARフィルム、ITOなど）
- FPD関連（レジスト、SOI、SiO2など）
装置構成
単一ポイントタイプ
- 半導体ウェハの面内分布測定
- ガラス基板の面内分布測定
多ポイントタイプ
- リアルタイム計測
- 流れ方向の品質管理
- 真空チャンバーにも対応
トラバースタイプ
- リアルタイム計測
- 幅方向の品質管理
測定例
ハードコートの膜厚解析
- 製品情報
- 装置構成
- 測定例
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