マイページ
言語切替

ホーム > 製品情報:分光計測機器 > インプロセス用評価機器 > フィルム成膜プロセス > 組込み型膜厚モニター

組込み型膜厚モニター

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

 


※資料やカタログダウンロードには会員登録が必要です
 【 関連技術資料ダウンロード
 

製品情報

特 長
  • 分光干渉法を用いた膜厚計
  • 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載(特許 第4834847号)
  • オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能
  • 各種製造装置への組み込みが可能
  • リアルタイムでの膜厚測定が可能
  • 遠隔操作、多点測定に対応
  • 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

 

測定項目
  • 多層膜厚解析

 

用 途
  • 光学フィルム(ハードコート、ARフィルム、ITOなど)
  • FPD関連(レジスト、SOI、SiO2など)

 

装置構成

単一ポイントタイプ

装置構成 単一ポイント

  • 半導体ウェハの面内分布測定
  • ガラス基板の面内分布測定

 

多ポイントタイプ

装置構成 多ポイント

  • リアルタイム計測
  • 流れ方向の品質管理
  • 真空チャンパーにも対応

 

トラバースタイプ

装置構成 トラバース

  • リアルタイム計測
  • 幅方向の品質管理

 

測定例

ハードコートの膜厚解析

ハードコートの膜厚解析

 

関連情報

関連製品

顕微分光膜厚計 OPTM series

反射分光膜厚計 FE-3000

膜厚モニター FE-300

マルチチャンネル分光器 MCPD-9800/6800

分光エリプソメータ FE-5000/5000S

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3

450mmウェーハ厚検査装置 SF-450M

顕微ウェーハ厚検査装置 SF-3000M