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ホーム > 製品情報:分光計測機器 > インプロセス用評価機器 > FPD自動検査ライン > 組み込み型膜厚モニター FE-3

組み込み型膜厚モニター FE-3

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

 


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製品情報

特 長
  • 分光干渉法を用いた膜厚計
  • 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載(特許 第4834847号)
  • オプティカルファイバーにより自由な測定系の構築が可能
  • 各種製造装置への組み込みが可能
  • リアルタイムでの膜厚測定が可能
  • 遠隔操作、多点測定に対応
  • 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

 

測定項目
  • 多層膜厚解析

 

用 途
  • 光学フィルム(ハードコート、ARフィルム、ITOなど)
  • FPD関連(レジスト、SOI、SiO2など)

 

仕 様

仕 様
型式 FE-3/40C FE-3/200I
全測定方式 分光干渉式
測定膜厚範囲(nd値) 20 nm ~ 40 μm 3 μm ~ 200 μm
測定波長範囲 430 nm ~ 650 nm 900 nm ~ 1600 nm
膜厚精度 ± 0.2 nm 以内 *1 -
繰り返し精度 0.1 nm 以内 *2 -
測定時間 0.1 s ~ 10 s 以内
スポット径 約 φ 1.2 mm
光源 白色LED ハロゲン
オプティカルファイバー 投受光用Y型ファイバー 1.5 m ~ 100 m
寸法、重量 300(W) × 300(D) × 150(H) mm、 約 10 kg
ソフトウェア ピークバレイ解析、FFT解析、最適化法解析

*1 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の膜厚保証書記載の測定保証値範囲に対して
*2 VLSI社製膜厚スタンダード(100nm SiO2/Si)の同一ポイント繰り返し測定時における拡張不確かさ(包括係数2.1)

 

装置構成

単一ポイントタイプ

装置構成 単一ポイント

  • 半導体ウェハの面内分布測定
  • ガラス基板の面内分布測定

 

多ポイントタイプ

装置構成 多ポイント

  • リアルタイム計測
  • 流れ方向の品質管理
  • 真空チャンパーにも対応

 

トラバースタイプ

装置構成 トラバース

  • リアルタイム計測
  • 幅方向の品質管理

 

測定例

ハードコートの膜厚解析

ハードコートの膜厚解析

 

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