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ロードポート対応膜厚測定システム GS-300
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パターンマッチ機能搭載、X-Y位置決め精度２um以下のシステムです。 |
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- 製品情報
- 仕様
- 測定例
製品情報
特 長
- Φ300mmEFEMユニット予備ポートへのインテグレーションに対応
- ウェーハに埋め込んだ配線パターンのパターンアライメントを実現
- 半導体プロセスの高スループット要求に対応
- ノッチアライメント機能に対応
- 小フットプリント仕様
測定事例
- TSV埋め込みパターンウェーハの研削後Silicon厚み
- Φ300ｍｍサイズのウェーハ厚み
動 画
仕様
仕様
測定例
測定例
■研削後300mmウェーハ
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Si層厚み分布（約771μｍ） |
- 製品情報
- 仕様
- 測定例
関連情報
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