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MCPD series 組込み型膜厚ヘッド
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当社のMCPD seriesは、フレキシブルファイバーを採用することにより、In-Situからインラインまで様々な場所や用途への組込みが可能になっております。 |
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- 製品情報
- 仕様
製品情報
特 長
- 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）
- 最短露光時間1ms~ ※仕様による
- フレキシブルファイバー光学系のため、半導体プロセス装置に組込みが容易
- 上位からリモートコントロールが可能
- 研磨中の膜厚終点検出にも最適
基本構成
装置組込みイメージ
測定例
CMPプロセスにおけるリアルタイムモニターによる In-situ 終点検出
対象：配線工程のCMP研磨対象の各種薄膜
適応プロセス例
CMPプロセス
エッチングプロセス
成膜プロセス
など
仕様
MCPD-9800仕様
| 型式 | ＭＣＰＤ-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 測定波長範囲（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 膜厚範囲※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 膜厚/反射/透過/リタデーション | 〇 | ||||||||
| 色測定 | 〇 | × | |||||||
| スキャン時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| スポット径 | φ1.2mm | ||||||||
| ファイバー長 | 1m～ 長さは要相談 | ||||||||
※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります
MCPD-6800仕様
| 型式 | ＭＣＰＤ-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測定波長範囲（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚範囲※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透過/リタデーション/色測定 | 〇 | |||
| スキャン時間 | 16ms～65s | |||
| スポット径 | φ1.2mm | |||
| ファイバー長 | １ｍ～ 長さは要相談 | |||
※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります
- 製品情報
- 仕様
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