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OPTM series 組込みヘッドタイプ

顕微分光膜厚計OPTM seriesの高精度、微小スポットを生かし、ウェーハのパターン作成後の微小エリア測定など、インラインで膜厚情報を提供します。

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製品情報

特 長
  • 膜厚測定範囲1nm~92μm(SiO2換算)
  • 膜厚値の高い繰り返し精度
  • 1ポイント1秒以内の高速測定
  • 微小スポット(最小Φ3μm)でパターンが狙える
  • パターンウェーハの膜厚マッピングに最適
  • パターンアライメント用画像取得が可能

 

装置組込みイメージ

測定データイメージ

 

測定スポット周辺画像

 

適応プロセス例

CMPプロセス

エッチングプロセス

成膜プロセス

など

仕様

OPTM ヘッド 仕様表

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