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選ぶのがむずかしい・・・
そんな方に、お求めの条件に
最適な膜厚計を
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選択いただいた素材 「ガラス」

お探ししているのは生産ラインでの自動検査でしょうか?

はい(インライン)

いいえ(据え置き)

わかりません

測定対象は光が通りにくいものでしょうか?

はい

いいえ

わかりません

サンプルを測定ステージに手置きし、面内マッピング測定希望でしょうか?
それとも走行搬送中での測定希望でしょうか?

手置き

走行搬送中

ガラス基材の厚み測定でしょうか?それとも基材上の膜の厚み測定でしょうか?

基材も膜も測定したい

基材

ガラス基材の厚み測定でしょうか?それとも基材上の膜の厚み測定でしょうか?

基材

わかりません

スポットサイズは1mm以下をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

(インライン)膜厚全面抜けの無い検査を希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

おススメはこちら!
「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

製品ページはこちら

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  • エリプソパラメータ(tanψ 、 cosΔ)
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  • 1システムで膜厚 ・ 反射 ・ 透過 ・ 発光測定
  • コンパクト ・ 低価格

偏光解析(エリプソパラメータ取得(tanψ、cosΔ))や1nm以下の膜厚の測定をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

全面抜けの無い検査をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

膜厚以外に反射透過発光測定もできる汎用光学評価装置をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

据え置き装置とは、測定対象をステージに
手置きして測定する装置の総称です。
代表的な装置はOPTMシリーズとなります。
詳しくはこちら

インライン膜厚計測とは、測定対象の膜厚を
連続して測定することです。
詳しくはWebで学ぶのページをご参照ください。
詳しくはこちら

下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ

おススメはこちら!
「基材ガラス」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、生産ラインにおいても非接触・非破壊でのガラス基板厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。ガラス基板の膜厚測定に最適で、散乱性の強いサンプルの測定も可能です。

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「基材ガラス」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、生産ラインにおいても非接触・非破壊でのガラス基板厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。ガラス基板の膜厚測定に最適で、散乱性の強いサンプルの測定も可能です。

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「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
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「基材ガラス」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、生産ラインにおいても非接触・非破壊でのガラス基板厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。ガラス基板の膜厚測定に最適で、散乱性の強いサンプルの測定も可能です。

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下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
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「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(組込みヘッドタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置で、お客様のラインや測定ステージに組み込みが可能です。
ガラス基板上のコーティング膜(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。

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ポイントセンサーとラインセンサーの違いについては
Webで学ぶ「ラインスキャン膜厚計によるインライン膜厚計測」の
「従来の検査システムとの違いとメリット」をご参照ください。
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「基材ガラス」

ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)
【対応膜厚範囲:0.7μm~300μm】

生産現場においてガラス面内のの膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を漏れなく2次元測定できる装置です。独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.01秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)の膜厚測定が可能です。

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「基材ガラス」

膜厚測定用マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)に対応いたします。各種サイズのガラス基板に対応したステージもご用意しております。膜厚以外にも反射透過特性など光学評価のご提案も可能です。

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1nm前後の厚み測定であればOPTMで測定出来る可能性が十分ございます。
使い勝手のいいOPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材ガラス」

分光エリプソメータ FE-5000/5000S
【対応膜厚範囲:0.1nm~1μm】

紫外可視(300~800nm)の波長領域でのエリプソパラメータ(tanψ、cosΔ)測定が可能なため、高精度な薄膜解析が可能です。測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。
高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

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OPTMシリーズの自動XYステージ仕様では精密な面内マッピング測定も可能です。
OPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材ガラス」

ラインスキャン膜厚計(オフラインタイプ)
【対応膜厚範囲:0.7μm~300μm】

ガラスへの製膜(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)の研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に漏れなく2次元測定できる装置です。全面を高速かつ高精度に測定可能です。

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膜厚測定は専用装置化されたほうが使い勝手がいい場合もあります。
膜厚測定専用の装置であればOPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材ガラス」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

ガラス面内の膜厚分布(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
ガラス上の光学材料などのコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材ガラス」

膜厚測定用マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)に対応いたします。各種サイズのガラス基板に対応したステージもご用意しております。膜厚以外にも反射透過特性など光学評価のご提案も可能です。

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「基材ガラス」

膜厚モニター FE-300
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。(例:ARコート、ハードコートなど光学機能性膜)
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

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