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選ぶのがむずかしい・・・
そんな方に、お求めの条件に
最適な膜厚計を
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選択いただいた素材 「フィルム」

お探ししているのは生産ラインでの自動検査でしょうか?

はい(インライン)

いいえ(据え置き)

わかりません

測定対象は光が通りにくいものでしょうか?

はい

いいえ

わかりません

フィルム基材の厚みを測定希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

(インライン)膜厚全面抜けの無い検査を希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

おススメはこちら!
「基材フィルム」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

フィルム面内の膜厚分布(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
フィルム上のコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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  • エリプソパラメータ(tanψ 、 cosΔ)
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  • 1システムで膜厚 ・ 反射 ・ 透過 ・ 発光測定
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偏光解析(エリプソパラメータ取得(tanψ、cosΔ))や1nm以下の膜厚の測定をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

全面抜けの無い検査をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

膜厚以外に反射透過発光測定もできる汎用光学評価装置をご希望でしょうか?

はい

いいえ

わかりません

据え置き装置とは、測定対象をステージに
手置きして測定する装置の総称です。
代表的な装置はOPTMシリーズとなります。
詳しくはこちら

インライン膜厚計測とは、測定対象の膜厚を
連続して測定することです。
詳しくはWebで学ぶのページをご参照ください。
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下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
お問い合わせ

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「基材フィルム」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、フィルム製造工程においても非接触・非破壊でのフィルム基材(例:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど)厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。サブミリオーダーの膜厚測定に最適で、散乱性の強いフィルムの測定も可能です。

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「基材フィルム」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、フィルム製造工程においても非接触・非破壊でのフィルム基材(例:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど)厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。サブミリオーダーの膜厚測定に最適で、散乱性の強いフィルムの測定も可能です。

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下記リンクよりお客様のサンプル情報(基材・測定対象膜の材質及びおおよその厚み)をご入力いただければ、
測定の可否および最適な機種について改めてご連絡させていただきます。
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「基材フィルム」

分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3
【対応膜厚範囲:10~2600μm※】※樹脂厚み

光学式により、フィルム製造工程においても非接触・非破壊でのフィルム基材(例:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど)厚み測定が可能であり、長いWD(ワークディスタンス)を実現し、機器の組み込みが可能です。サブミリオーダーの膜厚測定に最適で、散乱性の強いフィルムの測定も可能です。

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ポイントセンサーとラインセンサーの違いについては
Webで学ぶ「ラインスキャン膜厚計によるインライン膜厚計測」の
「従来の検査システムとの違いとメリット」をご参照ください。
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「基材フィルム」

ラインスキャン膜厚計(インラインタイプ)
【対応膜厚範囲:0.7μm~300μm】

生産現場においてフィルムの膜厚分布(基材厚みPET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)を全幅・全長測定できる装置です。
独自の分光干渉法に新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、最短0.01秒毎の測定間隔で500mm幅(1台使用時)のフィルムの膜厚測定が可能です。

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「基材フィルム」

膜厚測定用マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)に対応いたします。ファイバーのTD方向へのトラバース駆動による検査、あるいはファイバーの多点切替測定も可能です。フィルム製造工程における膜厚のリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

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1nm前後の厚み測定であればOPTMで測定出来る可能性が十分ございます。
使い勝手のいいOPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材フィルム」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

フィルム面内の膜厚分布(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
フィルム上のコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材フィルム」

分光エリプソメータ FE-5000/5000S
【対応膜厚範囲:0.1nm~1μm】

紫外可視(300~800nm)の波長領域でのエリプソパラメータ(tanψ、cosΔ)測定が可能なため、高精度な薄膜解析が可能です。測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。
高精度な薄膜解析が可能な分光エリプソメトリーに加え、測定角度の自動可変機構を実装させることにより、あらゆる種類の薄膜にも対応しております。従来の回転検光子法に加え、位相差板の自動脱着機構を設けることにより、測定精度を向上させました。

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OPTMシリーズの自動XYステージ仕様では精密な面内マッピング測定も可能です。
OPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材フィルム」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

フィルム面内の膜厚分布(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
フィルム上のコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材フィルム」

ラインスキャン膜厚計(オフラインタイプ)
【対応膜厚範囲:0.7μm~300μm】

フィルムへの製膜(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)の研究開発や品質管理の抜き取り検査に、オフラインで簡単に漏れなく2次元測定できる装置です。全面を高速かつ高精度に測定可能です。

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膜厚測定は専用装置化されたほうが使い勝手がいい場合もあります。
膜厚測定専用の装置であればOPTMシリーズはいかがでしょうか?

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「基材フィルム」

顕微分光膜厚計 OPTM series(自動XYステージタイプ)
【対応膜厚範囲:1nm~92μm】

フィルム面内の膜厚分布(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)を高速測定可能な装置です。顕微分光を用いた微小領域での絶対反射率測定により、高精度な膜厚・光学定数解析が可能な装置です。
フィルム上のコーティング膜の厚みや多層膜を非破壊・非接触で測定できます。測定時間は1秒/ポイントの高速測定が可能です。また初めての方でも簡単に光学定数の解析ができるソフトウェアを搭載しています。

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「基材フィルム」

膜厚測定用マルチチャンネル分光器 MCPD-9800
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

マルチチャンネル分光器(MCPD)、投受光用Y型ファイバー、そして豊富なオプションユニットの組み合わせによりインライン膜厚測定(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)に対応いたします。ファイバーのTD方向へのトラバース駆動による検査、あるいはファイバーの多点切替測定も可能です。フィルム製造工程における膜厚のリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。

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「基材フィルム」

膜厚モニター FE-300
【対応膜厚範囲:3nm~35μm】

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。(基材厚み:PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVAなど および各種基材上のコート膜)低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

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