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ウェーハの厚み(SF-3)

概 要

ウェーハの厚み(SF-3)

【分光干渉式ウェーハ厚み計 SF-3】

ウェーハ作製では、ウェーハの厚みを管理する必要があります。厚みセンサーを図のように研磨機に取り付けることで、厚みを研磨しながらリアルタイムで厚みを管理できます。またウェーハ平坦度もあわせて評価でき、これによって規格に準拠したウェーハを作製することができます。
*ウェーハ平坦度 TTV:Total Thickness Variation

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