CloseCMPスラリーの分散性
概 要
【ELSZ-2000ZS ゼータ電位・粒径・分子量測定システム】
【ELSZneo ゼータ電位・粒径・分子量測定システム】
研磨時に使用するCMPスラリー内の粒子にムラ＊があると研磨の効果にバラつきが生じます。液体中の分散、凝集状態は液体中の粒子の粒子径、ゼータ電位を測定することで判断することができます。
＊液体中にムラがある状態を “凝集” といいます。またムラが無い状態を “分散” といいます。
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インゴット製造
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ウェーハ作製 -
洗浄
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