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絶縁膜の厚み(OPTM series)

絶縁膜の厚み(OPTM series)

【OPTM series 反射分光膜厚計】

絶縁膜厚みが目的の厚みに成膜されているかを評価します。厚みが適切でないと絶縁膜としての機能が不十分となり、不良や性能低下を招きます。光干渉式膜厚測定では非接触、非破壊、高精度での測定が可能なため成膜された厚みを評価するのに適しています。

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