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ウェーハ表面の電位(ELSZ-2000ZS)

ウェーハ表面の電位(ELSZ-2000ZS)

【ELSZ-2000ZS ゼータ電位・粒径・分子量測定システム】

ウェーハは洗浄をしても、表面の電気特性によっては異物が除去できない場合があります。これは異物がプラス、ウェーハ表面がマイナスに帯電し電気的に結びつき、除去できないためです。こういったケースでは、ウェーハ表面と異物(例えば研磨粒子)の両方のゼータ電位を測ることで原因特定ができます。

  • ウェーハ作製
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  • 洗浄
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