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顕微分光膜厚計におけるDLC膜の計測評価技術

5.まとめ

OPTMのDLCの膜の評価を実例を交えて紹介した。OPTMはDLC以外にも半導体向けの酸化膜・窒化膜・レジスト膜や、フィルムおよびそのコーティングなど、幅広い分野で膜厚・nkおよびそれから分かる物性値を測定・評価することに活用いただいています。

当社は光を使った計測技術をコア技術にコーティングの品質保証と問題解決のため新技術の開発およびお客様ひとりひとりに寄り添ったカスタマイズをモットーに日々活動している。本記事およびそれ以外でも何かお困りの際は是非ご相談ください。

事例2で紹介した摩擦試験中のその場評価について、今回は概要の紹介だけですが、詳細は以下をご参照ください。

 ●学会誌「トライボロジスト」第63巻(2018年)第11号 
  『ベース油中CNx膜の摩擦界面その場分光分析による摩擦メカニズムの解明』
 ●学会誌「トライボロジスト」」第62巻(2017年)第7号
  『反射分光法によるカーボン系硬質膜の摩擦面構造変化層のその場評価装置』

最後にご研究の紹介をご快諾いたいた名古屋大学 梅原徳次先生に感謝の意を表します。

 

『メカニカル・サーフェス・テック』2019年2月号に掲載 2019/2)

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