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顕微分光膜厚計におけるDLC膜の計測評価技術

1.はじめに

DLCコーティングはその機能性から様々な分野・用途で使用されている。しかし、従来、その評価は接触したり破壊したりと試料にダメージを与える試験がほとんどであった。また試料の形状に制限があり、実サンプルではなく平坦なテストピースでしか評価できない、また、加工・前処理が必要なためコーティングから評価まで時間がかかりその場観察ができないなどの課題があった。

今回、これらの問題の解決する顕微分光膜厚計『OPTM』を紹介するとともに、実際に測定・運用された事例を紹介する。

事例の1として形状のあるサンプルにDLCを成膜する工程で、従来、テストピースにて膜厚をカロテスト、硬さをナノインデンター、膜質をXPS等の電子線を用いた分析装置にて評価されていた。これをOPTMを用いることで実サンプルにおいて非破壊・非接触で測定できるようになった事例を紹介する。

事例の2として、DLC膜の摩擦界面における摩擦メカニズムをOPTMを用いたその場観察によって解明された事例を紹介する。特に事例の2は名古屋大学 梅原徳次先生およびその研究室の成果であり、今回ご許可を頂いた上でその論文の概要を紹介する。

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