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【入門】分光法による膜厚解析

1.はじめに

スマートフォンやタブレットを街中で見かけても、もう珍しくない世の中になりましたが、実はこれらの飛躍的進歩の陰には、薄膜技術が大きく関わっているのです。すなわち、ハイテク・デバイスの代表格である半導体にしても、LCDにしても、薄膜の積み重ね技術で構成されているからなのです。他にも、ちょっと身の回りの物を考えてみるだけで、数え切れないくらい薄膜がコア技術として普及していることに気づきます。

・CPU、メモリをはじめとする半導体デバイス
・LCDをはじめとする表示デバイス
・磁気ディスク、光ディスクをはじめとする記憶メディア
・レンズ、表示デバイスの表面に施された無反射コート膜
・防湿フィルムなどの高分子製品の表面改質膜など

これら各種デバイスの薄膜製造装置と共に、計測、評価装置に関しても必須のものになってきました。

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