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ラインスキャン膜厚計によるインライン膜厚計測

5.幅広フィルム対応と高精度演算

光学フィルムは画面の大型化や需要増に伴い、製造される時のフィルム幅を広くして対応しています。また、生産能力の向上以外に単位面積あたりの単価を下げる目的でも同様に幅を広げることは良く行われています。このような幅広の生産ラインに対してラインスキャン膜厚計では、システムを複数台並べることで最大測定幅10mまで対応しています。(第7図)

第7図 幅広サンプルへの対応例
第7図 幅広サンプルへの対応例


この時、各システム間における測定値の継ぎ目に段差が出来るなどの問題が発生しますが、当社では独自の処理方法によって測定値に影響を与えること無くスムーズな全幅の膜厚を得ることが可能です。
振幅反射率の式を第4図で述べましたが、この式から屈折角θによっても振幅反射率に影響を与えることが分かります。ラインスキャン膜厚計は、第8図で示すように、測定幅の中央付近と端部では測定角度が異なりますが、当社では第4図の振幅反射率の式より屈折角θを考慮したより高精度な演算方法によって膜厚値を算出しています。

第8図 測定角度の違い
第8図 測定角度の違い


この高精度演算により、測定幅の端部まで正しい結果が得られるため、複数台を並べたシステムにおいても、よりスムーズなデータのつながりになっています。

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