スマート膜厚計 SM-100 series
高精度で持ち運び可能な膜厚計
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- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
製品情報
- 「持ち運び可能なハンディタイプ」1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単
- 「高精度測定&簡単測定」最薄0.1 μmまで検量線不要で測定可能
- 「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定可能
- 「非破壊・非接触測定」サンプルを傷つけることもなく測定可能
- 「様々なサンプルを測定」基材(ガラス・プラスチック)を選ばず測定可能
仕様
項目 | Pro | Standard |
型式 | SM-100P | SM-100S |
測定方式 | 反射分光法(光干渉法) | |
測定膜厚範囲*1 | 0.1~100μm(単層) 1~100μm(多層) |
1~50μm(単層) |
多層対応 | 最大3層 | 1層 |
測定繰り返し性 | 2.1σ 0.01μm(シリコン酸化膜1μm) | |
測定スポット径 | Φ1mm以下 | |
測定時間 | 1秒以下 | |
データ出力形式 | USBメモリにテキスト形式でエクスポート | |
本体サイズ | 約138(W)×198(D)×61(H)mm ※突起部を含む |
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重量 | 約1.1kg | |
駆動時間 | 4時間 以上(測定中) | |
電源電圧/電力 | AC100-240V/35VA(ACアダプタ入力) | |
保護等級 | IP30/IK06 |
*1 サンプル屈折率が1.6の場合
測定対象
- ハードコート(自動車)
- 防曇コート(自動車)
- ハードコート(光学用)
- 防水防湿コート(半導体)
- 反射防止膜(光学用)
- 離型剤コート(半導体)
- 接着層(光学用)
- 光学用フィルム
- 酸化膜(半導体)
- 産業資材用フィルム
オプション
狭い箇所や形状があるサンプルでも測定可能
ウェットな膜や半導体ウェーハのように接触したくないサンプルを、プローブの位置を自由に設定して非接触で測定が可能
- 製品情報
- 仕様
- 測定対象
- オプション
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