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MCPD series インラインフィルム評価システム
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当社のMCPD seriesインラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊での膜厚、濃度、色などの検査が可能です。 |
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- 製品情報
- 仕様
製品情報
特 長
- プロセス中の薄膜高速測定に最適
- 最短露光時間1ms～ ※仕様による
- リモート測定に対応
- 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）
基本構成
多点測定ポイント切替対応システム
多点測定ポイント切替対応システムでは、TD方向に予め多分岐ファイバーを任意幅に設置することにより、TD方向の膜厚分布をファイバー駆動させることなく測定することができます。コーティングの条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。
検出器やデータ処理システムは1式で、光ファイバーの光路切替により多点測定が可能です。
トラバースユニット対応システム
トラバースユニット対応システムでは、TD方向にトラバースユニットを駆動することにより、TD方向の膜厚分布を任意幅と任意ピッチで測定することができます。コーティング条件出しやリアルタイムモニターとしてお使いいただけます。
トラバースユニットの駆動により多点測定を行うため、検出器やデータ処理を複数台用意する必要はありません。
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真空環境下でも多点で反射・透過スペクトル測定が可能
各種フランジに対応した耐真空ファイバーを用いることにより、高真空下で反射・透過スペクトルを測定できます。また、膜厚演算にはベースフィルムの上下動の影響を受けにくく、かつ精度よく薄膜が測定できる大塚電子独自のアルゴリズムを採用することにより、リアルタイムモニターとしてお使いいただけます。
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仕様
MCPD-9800仕様
| 型式 | ＭＣＰＤ-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 測定波長範囲（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 膜厚範囲※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 膜厚/反射/透過/リタデーション | 〇 | ||||||||
| 色測定 | 〇 | × | |||||||
| スキャン時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| スポット径 | φ1.2mm | ||||||||
| ファイバー長 | 1m～ 長さは要相談 | ||||||||
※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります
MCPD-6800仕様
| 型式 | ＭＣＰＤ-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測定波長範囲（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚範囲※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透過/リタデーション/色測定 | 〇 | |||
| スキャン時間 | 16ms～65s | |||
| スポット径 | φ1.2mm | |||
| ファイバー長 | １ｍ～ 長さは要相談 | |||
※膜厚値はn=1.5換算。仕様によります
- 製品情報
- 仕様
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