成膜したい材料を加熱し蒸発させて、フィルムに付着させます。金属は大気中では蒸発しにくいですが、真空にすると蒸発温度が下がり、容易に蒸発させることができます。また、真空にすることで空間に存在するガス分子への衝突を避けることができます。