光干渉法による膜厚計によって得られる厚み(nd)のこと。主に屈折率未知の膜や多層膜の解析に用いられる。 光学膜厚=屈折率(n)×膜厚(d)として表される。測定対象膜の屈折率を割り算をすることで対象の物理厚みを得ることができる。
専門用語集
光学膜厚
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