膜厚モニター
FE-300F

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。
測定項目
  • 絶対反射率測定
  • 膜厚解析(10層)
  • 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰計数)
測定対象
  • 機能性フィルム、プラスチック
  • 半導体
  • 表面処理
  • 光学材料
  • FPD
  • その他
特長
  • 小型・低価格・簡単操作で膜厚測定
  • 分光器、光源の選択により測定膜厚範囲の選択可能
  • 条件設定や測定操作が簡単。
    どなたでも手軽に測定可能
  • リアルタイムモニター機能や
    シュミレーション機能などを搭載
  • 測定スポット径φ1.2mmで、3nm~35μmの薄膜から厚膜まで幅広い測定に対応

膜厚モニター FE-300Fとは

高精度な光干渉法による膜厚測定を簡単操作で実現した小型で低価格な膜厚計です。
必要な機器を本体部に収納したオールインワンタイプの筺体を採用し、安定したデータの取得を実現しました。
低価格でありながらも絶対反射率の取得により、光学定数の解析も可能です。

測定項目

絶対反射率測定

膜厚解析

(10層)

光学定数解析

(n:屈折率、k:消衰計数)

測定対象

機能性フィルム、プラスチック

  • 透明導電膜(ITO、銀ナノワイヤー)位相差フィルム偏光フィルムARフィルムPETPENTACPPPCPEPVA接着剤粘着剤プロテクトフィルムハードコート耐指紋剤

半導体

  • 化合物半導体Si酸化膜窒化膜ResistSiCGaAsGaNInPInGaAsSOISapphire

表面処理

  • DLCコート防錆剤防曇剤

光学材料

  • フィルタARコート

FPD

  • LCD(CF、ITO、LC、PI)OLED(有機膜、封止剤)

その他

  • HDD磁気テープ建材

原理

仕様

測定波長範囲

300~800nm

測定膜厚範囲(SiO

2

換算)

3nm~35μm

スポット径

φ1.2mm

サンプルサイズ

φ200×5(H)mm

測定時間

0.1~10s以内

電源

AC100V±10% 300VA

寸法、重量

280(W)×570(D)×350(H)mm、24㎏

ソフトウェア画面

測定画面

膜厚モニター FE-300F 仕様 ソフトウェア画面 測定画面

解析条件設定画面

膜厚モニター FE-300F 仕様 ソフトウェア画面 解析条件設定画面

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