カラーフィルタ分光特性測定装置
LCF series

カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。
測定項目
  • カラーフィルタ評価
  • 膜厚評価
測定対象
  • R
  • G
  • B
  • ITO
  • PI
  • PR
  • OC
  • BM
特長
  • 透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、
    カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置
  • カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能
  • オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、
    レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能

カラーフィルタ分光特性測定装置 LCF seriesとは

カラーフィルタの光学特性検査やガラス基板上膜の膜厚検査など FPD生産工程中のあらゆる検査に最適です。

測定項目

色測定

(透過スペクトル測定)

色度
(XYZ, xy, Lab, L*a*b*, u'v', u*v*)

* オプション

色差,
ホワイト
バランス

反射率測定*

* オプション

濃度(OD)
測定*

* オプション

画素幅測定*

* オプション

オート
フォーカス,
自動絵素
合わせ*

* オプション

膜厚測定

膜物性解析

(n:屈折率,k:消衰係数)

測定対象

  • RGBITOPIPROCBM

仕様

型式 LCF series
サンプルサイズ 50mm×50mm ~ *
検出器 分光光度計 ( MCPD検出器 ),PMT (オプション)
画像処理 CCDカメラおよびモニター オートフォーカス・自動絵素合わせ機構
ステージおよび
測定部架台
XYステージ(自動および手動)

*大型ガラス基板にも対応可能(3000mm×3000mm以上)

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