組込み型膜厚モニター

波長依存性を有する多層膜測定を
高精度に実現!
測定項目
  • 膜厚
測定対象
  • 光学フィルム
  • FPD関連
特長
  • 分光干渉法を用いた膜厚計
  • 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載
    (特許 第4834847号)
  • オプティカルファイバーにより
    自由な測定系の構築が可能
  • 各種製造装置への組み込みが可能
  • リアルタイムでの膜厚測定が可能
  • 遠隔操作、多点測定に対応
  • 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用

組込み型
膜厚モニターとは

波長依存性を有する多層膜測定を高精度に実現!

測定項目

膜厚

測定対象

光学フィルム

  • ハードコートARフィルムITO

FPD関連

  • レジストSOISiO2

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