組込み型膜厚モニター 装置構成
組込み型膜厚モニターの装置構成をご紹介します。
装置構成
単一ポイントタイプ
・半導体ウェハの面内分布測定
・ガラス基板の面内分布測定
多ポイントタイプ
・リアルタイム計測
・流れ方向の品質管理
・真空チャンバーにも対応
トラバースタイプ
・リアルタイム計測
・幅方向の品質管理
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