製品カテゴリ
- 分光特性評価機器
- 膜厚評価機器
製品一覧
紫外分光放射照度測定システム
特長
- 検出器は発光体測定、反射・透過測定、インプロセス測定で多数の実績がある高性能な分光光度計
- 紫外から可視と幅広い波長範囲をカバー
- ソフトウェアでサンプル点灯電源、
測定計器を一括制御 - L-I-V測定、パルス点等測定、
サンプル温調測定にも対応可能 - 装置校正用の標準ランプは
JCSS校正事業者登録の自社部門より供給
評価項目
- 照度
- 放射照度
- 分光データ（分光放射照度）
- 三刺激値XYZ
- 色度座標xy、uv、u'v'
- 相関色温度
- Duv
- 主波長
- 刺激純度
- 演色性評価数Ra, R1～R15
- ピーク波長
- 光量子束密度PFD
測定対象
- 医薬・医療
- バイオ・生化学
- 食品
- 化粧品・香料
- 表示デバイス
- 半導体分野
- 光源照明
- 光学材料
紫外分光配光測定システム
特長
- 紫外放射を分光配光によって高精度測定
- 配光から紫外光の最大光度、ビームの開き、
ビーム光束を評価 - 紫外から可視までの波長範囲をカバー
- LEDチップからモジュール、応用製品まで
幅広いサンプルに対応 - ソフトウェアで電源や測定計器を一括制御
評価項目
- 配光-紫外放射強度または放射照度における角度分布
- 最大光度
- ビームの開き
- ビーム光束
- 放射束
- 放射強度
- 放射照度
- 全光束
- 分光データ
- 色度座標xy、uv、u'v'
- 相関色温度
- Duv
- 主波長
- 刺激純度
- 演色性評価数Ra, R1～R15
- ピーク波長
測定対象
- 医薬・医療
- バイオ・生化学
- 食品
- 化粧品・香料
- 表示デバイス
- 半導体分野
- 光源照明
- 光学材料
- フィルム
- 紙･パルプ･繊維
- 色材
- 自動車
- 建築
- 環境・エネルギー
紫外分光全放射束測定システム
特長
- 高感度検出器による広い測定範囲
- 紫外から可視光での自己吸収補正で高精度測定
- 温調ユニット搭載で－110℃からの温調可能
- 紫外から可視までの波長範囲をカバー
- ソフトウェアで電源、温調ユニット、
測定計器を一括制御
評価項目
- 全放射束、分光全放射束
- 殺菌効果度 *1
- 有害紫外放射 *2
- ピーク波長
- 全光束
- 三刺激値XYZ
- 色度座標xy、uv、u'v'
- 相関色温度
- Duv
- 主波長
- 刺激純度
- 演色性評価数
- 等色標準偏差
- 光量子量
- 外部量子効率
- 発光効率(電源オプション付きの場合)
測定対象
- 医薬・医療
- バイオ・生化学
- 食品
- 化粧品・香料
- 表示デバイス
- 半導体分野
- 光源照明
- 光学材料
- フィルム
- 紙･パルプ･繊維
- 色材
- 自動車
- 建築
- 環境・エネルギー
膜厚測定用途マルチチャンネル分光器MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
発光・蛍光測定用途マルチチャンネル分光器MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
インラインフィルム評価システムMCPD series
特長
- プロセス中の薄膜高速測定に最適
- 最短露光時間1ms～※
- リモート測定に対応
- 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）
高速リタデーション測定装置RE-200
特長
- 0nmからの低（残留）リタデーション測定が可能
- 光軸検出と同時にリタデーション(Re.)の高速測定が可能（世界最速相当0.1秒以下での処理が可能です）
- 駆動部がないため、高い繰り返し再現性を実現
- 設定する測定項目が少なく、測定が簡単
- 測定波長は550nmのほか、さまざまな波長をラインアップ
- Rth測定、全方位角測定が可能
（オプションの自動回転傾斜治具が必要です） - 引張試験機と組み合わせることにより、フィルムの偏光特性と同時に光弾性評価が可能（このシステムは特注対応となります）
測定項目
- リタデーション（ρ[deg.], Re[nm]）
- 主軸方位角（θ[deg.]）
- 楕円率（ε）・方位角（γ）
- 三次元屈折率（NxNyNz）
測定対象
- 位相差フィルム
- 偏光フィルム
- 楕円フィルム
- 視野角改善フィルム
- 各種機能性フィルム
- 樹脂
- ガラス 透明で異方性のあるもの
セルギャップ検査装置RETS series
特長
- 偏光光学系とマルチチャンネル分光検出器を採用
- 1mmサイズの光学素子から第10世代の大型基板まで、種々のサイズに対応した装置をラインアップ
- 安全対策とパーティクル対策により、液晶ライン内での検査設備に対応
測定項目
- 封入セルギャップ
- ツイスト角*
- ラビング角*
- プレチルト角[TN,IPS,FFS,MVA]*
- 空セルギャップ*
- リタデーション(複屈折位相差)の波長分散*
- 光学軸*
- 楕円率/方位角*
- 三次元屈折率/Rth/β*
- 分光スペクトル/色度*
測定対象
- 液晶セル
- 光学材料
カラーフィルタ分光特性測定装置LCF series
特長
- 透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、
カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置 - カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能
- オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能
測定項目
- カラーフィルタ評価
- 膜厚評価
測定対象
- R
- G
- B
- ITO
- PI
- PR
- OC
- BM
分光放射照度測定システム
特長
- 検出器は発光体測定、反射・透過測定、インプロセス測定で多数の実績がある高性能な分光光度計
- 紫外から可視、可視から赤外と幅広い波長範囲をカバー
- ソフトウェアでサンプル点灯電源、測定計器を一括制御
- L-I-V測定、パルス点等測定、サンプル温調測定にも対応可能
- 装置校正用の標準ランプはJCSS校正事業者登録の自社部門より供給
評価項目
- 照度、放射照度
- 分光データ（分光放射照度）
- その他の測定項目
測定対象
- 医薬・医療
- バイオ・生化学
- 食品
- 化粧品・香料
- 表示デバイス
- 半導体分野
- 光学材料
- フィルム
- 記録材料
- 紙･パルプ･繊維
- 色材
- 自動車
- 建築
- 環境・エネルギー
リタデーション測定装置RETS-100nx
特長
- 独自の分光器だからできる高精度測定
- 超高リタデーション測定
- 多層測定
- 軸角度補正機能
- かんたんソフトウェア
測定項目（フィルム、光学材料）
- リタデーション（波長分散）
- 遅相軸
- Rth*
- 3次元屈折率*
測定項目（偏光板）
- 吸収軸
- 偏光度
- 消光比
- 各種色度
- 各種透過率
測定項目（液晶セル）
- セルギャップ
- プレチルト角*
- ツイスト角
- 配向角
測定対象
- 表示デバイス
- 光学材料
- フィルム
- 化学工業材料
マルチチャンネル分光器MCPD-9800/6800 series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
測定項目
- 顕微分光
- 光源発光
- 透過・反射測定
- 物体色評価
- 膜厚測定
組込み型膜厚モニター
特長
- 分光干渉法を用いた膜厚計
- 高精度FFT膜厚解析エンジンを搭載
（特許 第4834847号） - オプティカルファイバーにより
自由な測定系の構築が可能 - 各種製造装置への組み込みが可能
- リアルタイムでの膜厚測定が可能
- 遠隔操作、多点測定に対応
- 長寿命、高安定性の白色LED光源を採用
測定項目
- 膜厚
測定対象
- 光学フィルム
- FPD関連
分光エリプソメータFE-5000 series
特長
- 紫外可視（300～800nm）の波長領域でのエリプソパラメータ測定が可能
- ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能
- 400ch以上のマルチチャンネル分光法によるエリプソスペクトルの迅速測定が可能
- 反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応
- 光学定数のデータベース化およびレシピ登録機能の追加により操作性がアップ
測定項目
- エリプソパラメータ(tanψ、cosΔ)測定
- 光学定数(n：屈折率 , k：消衰係数)解析
- 膜厚解析
測定対象
- 半導体ウェーハ
- 化合物半導体
- FPD
- 各種新素材
- 光学薄膜
- リソグラフィー分野
膜厚モニターFE-300F
特長
- 小型・低価格・簡単操作で膜厚測定
- 分光器、光源の選択により測定膜厚範囲の選択可能
- 条件設定や測定操作が簡単。
どなたでも手軽に測定可能 - リアルタイムモニター機能や
シュミレーション機能などを搭載 - 測定スポット径φ1.2mmで、3nm～35μｍの薄膜から厚膜まで幅広い測定に対応
測定項目
- 絶対反射率測定
- 膜厚解析（10層）
- 光学定数解析（n：屈折率、k：消衰計数）
測定対象
- 機能性フィルム、プラスチック
- 半導体
- 表面処理
- 光学材料
- FPD
- その他
MCPD series組込み型膜厚ヘッド
特長
- 膜厚測定範囲65nm～92μm（SiO2換算）
- 最短露光時間1ms~※
- フレキシブルファイバー光学系のため、
半導体プロセス装置に組込みが容易 - 上位からリモートコントロールが可能
- 研磨中の膜厚終点検出にも最適
【インラインタイプ】ラインスキャン膜厚計®
特長
- ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現
- 膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
- 高速・高精度に測定が可能
- バタつきに強い光学系を採用
- 幅広のサンプル（TD方向に最大10m測定可能）
- ハード・ソフト共にオリジナル設計
測定対象
- フィルム基材
- フィルム上各種薄膜（AR、ITO、HCなど）
- ガラス
- 機能性材料
- 医療用材料
測定項目
- 膜厚値(二次元マップ、MD・TDトレンド)
検出対象例
- MDスジ
- 横ダン
- 斜めムラ
- チャックムラ
- スポット欠陥
顕微分光膜厚計OPTM series
特長
- 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約
- 顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数）
- 1ポイント1秒以内の高速測定
- 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外）
- エリアセンサーによる安全機構
- 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
- 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
- 複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法）
- 300mmステージ対応可能
- 各種カスタマイズに対応
測定分野
- 半導体
- フィルム
- 太陽電池
- DLC
- FPD
- 光学部品
測定例
- 酸化膜
- 窒化膜
- レジスト膜
- ARコート膜
- ペロブスカイト膜
- 各種光学薄膜
測定項目
- 絶対反射率
- 膜厚解析
- 光学定数解析（n：屈折率、ｋ：消衰係数）
