測定対象
- 医薬・医療
- バイオ・生化学
- 化粧品・香料
- 表示デバイス
- 半導体分野
- 光源照明
- 光学材料
- フィルム
- 記録材料
- 化学工業材料
- 紙・パルプ・繊維
- 色材
- 自動車
- 建築
- 環境・エネルギー
製品一覧
膜厚測定用途マルチチャンネル分光器MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
色測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
発光・蛍光測定用途マルチチャンネル分光器MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
反射率測定用途マルチチャンネル分光器 MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
透過率・吸光度測定用途マルチチャンネル分光器MCPD series
特長
- 用途に応じた多彩な検出器をラインアップ
- 通信インターフェースはUSBとLANに対応可能
- 高速・高感度に光スペクトルを測定
- オプティカルファイバーによる自由な光学系
スマート膜厚計SM-100 series
特長
- 「持ち運び可能なハンディタイプ」1.1 kgと軽く、持ち運びも簡単
- 「高精度測定&簡単測定」最薄0.1 μmまで検量線不要で測定可能
- 「多層膜も対応」3層までの多層膜を測定可能
- 「非破壊・非接触測定」サンプルを傷つけることもなく測定可能
- 「様々なサンプルを測定」基材(ガラス・プラスチック)を選ばず測定可能
測定対象例
- 光学フィルム
- 接着層
- 酸化膜
- レジスト膜
- ハードコート膜
- ポリイミド膜
測定膜厚範囲
- Pro(単層):0.1~100μm
- Pro(多層):1~100μm
- Standard(単層):1~50μm
分光エリプソメータFE-5000 series
特長
- 紫外可視(300~800nm)の波長領域でのエリプソパラメータ測定が可能
- ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能
- 400ch以上のマルチチャンネル分光法によるエリプソスペクトルの迅速測定が可能
- 反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応
- 光学定数のデータベース化およびレシピ登録機能の追加により操作性がアップ
測定項目
- エリプソパラメータ(tanψ、cosΔ)測定
- 光学定数(n:屈折率 , k:消衰係数)解析
- 膜厚解析
測定対象
- 半導体ウェーハ
- 化合物半導体
- FPD
- 各種新素材
- 光学薄膜
- リソグラフィー分野
膜厚モニターFE-300F
特長
- 小型・低価格・簡単操作で膜厚測定
- 分光器、光源の選択により測定膜厚範囲の選択可能
- 条件設定や測定操作が簡単。
どなたでも手軽に測定可能 - リアルタイムモニター機能や
シュミレーション機能などを搭載 - 測定スポット径φ1.2mmで、3nm~35μmの薄膜から厚膜まで幅広い測定に対応
測定項目
- 絶対反射率測定
- 膜厚解析(10層)
- 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰計数)
測定対象
- 機能性フィルム、プラスチック
- 半導体
- 表面処理
- 光学材料
- FPD
- その他
MCPD series組込み型膜厚ヘッド
特長
- 膜厚測定範囲65nm~92μm(SiO2換算)
- 最短露光時間1ms~※
- フレキシブルファイバー光学系のため、
半導体プロセス装置に組込みが容易 - 上位からリモートコントロールが可能
- 研磨中の膜厚終点検出にも最適
顕微分光膜厚計OPTM series
特長
- 膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約
- 顕微分光で高精度な絶対反射率測定(多層膜厚、光学定数)
- 1ポイント1秒以内の高速測定
- 顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系(紫外~近赤外)
- エリアセンサーによる安全機構
- 初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード
- 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
- 複雑な光学定数も解析可能(複数点解析法)
- 300mmステージ対応可能
- 各種カスタマイズに対応
測定分野
- 半導体
- フィルム
- 太陽電池
- DLC
- FPD
- 光学部品
測定例
- 酸化膜
- 窒化膜
- レジスト膜
- ARコート膜
- ペロブスカイト膜
- 各種光学薄膜
測定項目
- 絶対反射率
- 膜厚解析
- 光学定数解析(n:屈折率、k:消衰係数)


