偏光および測定角度を変えながら反射光を測定し、サンプルの反射光より生じる偏光状態の変化を解析することで、
薄膜の膜厚や光学定数(n,k)を非接触・非破壊・高精度に測定する技術。 10nm以下の極薄膜の厚み測定をすることができる。
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