エリプソメトリーにおいて測定されるパラメータである、tanψ、cosΔのこと。
tanψは、pおよびs偏光反射光の比率を示し、cosΔは、それぞれの位相差を示す。
これらのエリプソパラメータを用いて薄膜の膜厚解析が行われる。
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エリプソパラメータ
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