薄膜に光を照射し、反射率を用いて膜厚を求める方法。
膜の表面および裏面で生じる反射光は、光路差(厚み)による位相のずれによって光干渉現象が生じる。
この干渉光の分光反射率を周期性解析やフィッティング解析を行うことで、膜厚を測定する。
非接触、非破壊でnm～µmの厚み測定ができる。
専門用語集
光干渉法
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