光干渉法による膜厚計で取得した、反射スペクトルの解析方法の一つ。
周期的に現れた反射率のピークとバレイを高速フーリエ変換(FFT)を用いて周波数解析することによって膜厚を演算する方法。
ピークとバレイが複数以上得られる数μm以上の薄膜やフィルム、Siウェーハなどの基材の厚み解析に適用される。
専門用語集
周波数解析
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