光干渉法による膜厚計で取得した、反射スペクトルの解析方法の一つ。
測定によって実測された反射率と理論的な反射率をフィッティング解析することによって、膜厚を演算する方法。
数µm以下の薄膜の解析に適用される。
膜厚解析とともに光学定数(n,k)も解析することができる。
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フィッティング解析
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