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「表面も内部もワンショット」光波動場三次元顕微鏡
4.MINUKの構成
MINUK の製品構成は、nm の高さを測る精密測定機器とは思えないほどにシンプルです。本体とPC の他には特に用意するものはなく、一般的な事務机の上に設置し、コンセントから給電するだけで使用できます。光波動場イメージングは従来の「振動の補正」というアプローチではなく、原理的に光波の情報を瞬時記録可能な技術であるため、従来の方法に比べて格段に振動や外乱に強いです。これは、振動や外乱は厳禁とされてきた、光位相計測の常識を覆すものです。MINUK はその扱いの簡便さも大きな特徴です。一般的なデジタルマイクロスコープのように、試料の像を見ながらリアルタイムに観察を行うことができます。このリアルタイム観察は、明るさだけを見る通常の観察画像（明視野像）のみならず、OPD イメージングに基づいて透明体を可視化した画像（OPD 像）でも可能です。さらに、デジタルマイクロスコープにはない利点として、機械的なフォーカス機構がないため、レンズが接触して試料や測定機器を破損させる恐れがなく、熟練者でなくても安全に扱えることが挙げられます。また、全フォーカス範囲のデータ取得が数秒で完了するため、うねりがありフォーカス面が定まりにくい試料や、長時間の観察に適さない不安定な試料であっても、データを取得した後でじっくりと観察・測定ができることも利点です。
※本記事は『メカニカル・サーフェス・テック』2025年2月号の掲載内容を一部編集したものです。
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