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光波動場三次元顕微鏡 MINUK NEW
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MINUKは、nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報を取得でき、非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能な装置です。 ※資料やカタログダウンロードには会員登録が必要です |
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- 製品情報
- 観察法
- 仕様
- 測定例
製品情報
- nｍオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能
- 1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得
- フォーカス不要で高速測定が可能
- 非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
- 任意の面を高速でスキャンし測定位置の決定が容易
観察法
対象物にレーザーを当てることで、厚みと屈折率の変化によって波面が変化します。その変化を波面センサでとらえ、独自のソフトウェア上で数値解析し、像を再生しています。
700×700μm、深さ方向1400μmの情報を瞬時に測定します。約2μmの 分解能のスライス像の情報を取り込み、約700枚のスライス像を取得します。 その情報をデジタルリフォーカシングすることにより三次元構造の追加検証が 可能です。
データ取得後、後から任意の深さ・位置にソフトウェア上で再フォーカスすることが可能
（デジタルリフォーカシング）
700×700μmの広視野で0.5μm未満の線幅を捉えることができる高分解能を実現し、また光学系にはレンズを使用していないため、歪みや収差がないイメージングを実現しています。
観察内容に応じて、ワンショットイメージングから高品質イメージングまで観察が可能です。ワンショットイメージングでは高速リアルタイム測定が可能で、経時変化を動画で観察することもできます。また、高品質イメージングでは高品質な画像取得が可能です。
仕様
仕 様
| 分解能 x,y | 691nm（ワンショット）、488nm（合成） |
| 視野 x,y | 700×700μm |
| 分解能 z | 10nm（位相差） |
| 視野 z | ±700μm |
| サンプルサイズ | 100×80×t20mm（汎用サンプルホルダ取付時） |
| サンプルステージ | 微動XYステージ（自動） X:±10mm Y：±10mm 粗動ステージ X：129mm Y：85mm |
| レーザー |
波長 638nm
出力 0.39mW 以下 Class1 (測定試料への照射強度)
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| サイズ （幅×奥行き×高さ）mm |
本体：505（W）×630（D）×439（H） ※PC、付属品は含まず |
| 質量 | 41kg |
| 消費電力 | 本体：290VA ※PC、付属品は含まず |
測定例
nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得できます。ワンショットで深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム表面の傷や欠陥の断面形状を可視化し数値化することが可能です。
目視では見えない透明フィルム内部にあるフィラーをワンショットで観察することができます。また、測定後に深さ方向へピントを変えていくことにより、各深さでのフィラーを識別することが可能です。
目視では確認できない表面や内部に形成した透明構造物を迅速に可視化し数値化することが可能です。
ワンショット撮像モードでは、液体など刻一刻と変化する形状を可視化・数値化可能です。
動的に変化していく対象物の評価、動的な現象のメカニズム解明に活用できます。
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